সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার

সেমিকন্ডাক্টর তৈরির প্রক্রিয়ায় গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করতে হবে কেন? 

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়ায় গ্যাস ফিল্টারগুলি বিভিন্ন জটিল কারণে অপরিহার্য:

1. দূষক অপসারণ

সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে অসংখ্য সংবেদনশীল প্রক্রিয়া জড়িত যেখানে এমনকি ক্ষুদ্রতম দূষক,

যেমন ধূলিকণা, আর্দ্রতা বা রাসায়নিক অবশিষ্টাংশের ক্ষতিকর প্রভাব থাকতে পারে। গ্যাস ফিল্টার অপসারণ

প্রক্রিয়াজাত গ্যাস থেকে কণা পদার্থ, অমেধ্য এবং বায়ুবাহিত দূষক, একটি পরিষ্কার পরিবেশ নিশ্চিত করে

এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের অখণ্ডতা বজায় রাখা।

2. অতি-বিশুদ্ধতা মান বজায় রাখা

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত গ্যাসে অত্যন্ত উচ্চ মাত্রার বিশুদ্ধতা প্রয়োজন, কারণ অমেধ্য হতে পারে

অর্ধপরিবাহী ডিভাইসে ত্রুটির দিকে পরিচালিত করে। গ্যাস ফিল্টার অতি-বিশুদ্ধ গ্যাসের গুণমান অর্জন করতে সাহায্য করে, প্রতিরোধ করে

দূষণ এবং পণ্যের ধারাবাহিকতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করা।

3. সুরক্ষা সরঞ্জাম

গ্যাসের দূষিত পদার্থগুলি কেবল অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলির ক্ষতি করতে পারে না তবে সংবেদনশীলকেও ক্ষতি করতে পারে

উত্পাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত সরঞ্জাম, যেমন রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) চুল্লি এবং

এচিং সিস্টেম। গ্যাস ফিল্টারগুলি এই ব্যয়বহুল মেশিনগুলিকে ক্ষতির হাত থেকে রক্ষা করে, এর ঝুঁকি হ্রাস করে

ডাউনটাইম এবং ব্যয়বহুল মেরামত।

4. ফলন ক্ষতি প্রতিরোধ

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ফলন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে ত্রুটিগুলি উত্পাদনে যথেষ্ট ক্ষতির কারণ হতে পারে।

এমনকি একটি কণা বা রাসায়নিক অপবিত্রতা ফলন ক্ষতির কারণ হতে পারে, উৎপাদনশীলতা এবং লাভজনকতাকে প্রভাবিত করে।

গ্যাস ফিল্টারগুলি নিশ্চিত করে যে প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি বিশুদ্ধ, দূষণ হ্রাস করে এবং ফলনের ক্ষতি হ্রাস করে।

5. পণ্যের গুণমান নিশ্চিত করা

সামঞ্জস্য এবং গুণমান অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সর্বাপেক্ষা গুরুত্বপূর্ণ. দূষিত গ্যাস তৈরি করতে পারে

অসঙ্গতি, যা অবিশ্বস্ত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের দিকে পরিচালিত করে। গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করে, নির্মাতারা পারেন

গ্যারান্টি যে প্রতিটি ব্যাচ প্রয়োজনীয় কঠোর মানের মান পূরণ করে, যা উচ্চতর ডিভাইসের দিকে পরিচালিত করে

কর্মক্ষমতা এবং দীর্ঘায়ু।

6. ডাউনটাইম কমানো

প্রক্রিয়া গ্যাসের দূষকগুলি সরঞ্জামের ব্যর্থতা, রক্ষণাবেক্ষণ বা প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন হতে পারে।

গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করে, নির্মাতারা অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম কমাতে পারে, অপারেশনাল দক্ষতা বজায় রাখতে পারে এবং

সমালোচনামূলক সরঞ্জামের জীবনকাল প্রসারিত করুন।

7. রাসায়নিক সামঞ্জস্য

সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত অনেক গ্যাস অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল বা ক্ষয়কারী। গ্যাস ফিল্টার হয়

কার্যকরভাবে অমেধ্য ফিল্টারিং, নিশ্চিত করার সময় এই কঠোর রাসায়নিক পরিবেশ সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে

নিরাপদ এবং কার্যকর প্রক্রিয়াকরণ।

সামগ্রিকভাবে, সেমিকন্ডাক্টরের বিশুদ্ধতা, নির্ভরযোগ্যতা এবং নিরাপত্তা বজায় রাখার জন্য গ্যাস ফিল্টারগুলি গুরুত্বপূর্ণ

উত্পাদন প্রক্রিয়া, উচ্চ মানের অর্জন করতে সাহায্য, ত্রুটি-মুক্ত অর্ধপরিবাহী পণ্য যখন

এছাড়াও মূল্যবান সরঞ্জাম রক্ষা.

সেমিকন্ডাক্টর তৈরির প্রক্রিয়ায় গ্যাস ফিল্টারের প্রকারভেদ

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, বিভিন্ন ধরণের গ্যাস ফিল্টারগুলি বিভিন্ন সমাধানের জন্য ব্যবহৃত হয়

গ্যাসের বিশুদ্ধতা এবং সরঞ্জাম সুরক্ষার সাথে যুক্ত পর্যায় এবং চ্যালেঞ্জ।

সাধারণত যে ধরনের গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করা হয় তার মধ্যে রয়েছে:

1. পার্টিকুলেট ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: প্রক্রিয়া গ্যাস থেকে কণা, ধুলো, এবং অন্যান্য কঠিন দূষক অপসারণ.

* ব্যবহার: কণা দূষণ থেকে ওয়েফার, প্রসেস চেম্বার এবং সরঞ্জাম রক্ষা করার জন্য প্রায়শই বিভিন্ন পর্যায়ে ইনস্টল করা হয়।

* উপকরণ: সাধারণত sintered স্টেইনলেস স্টীল, PTFE, বা অন্যান্য উপকরণ যা স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক সামঞ্জস্য নিশ্চিত করে তৈরি।

2. আণবিক বা রাসায়নিক ফিল্টার (গেটার ফিল্টার)

*উদ্দেশ্য: নির্দিষ্ট আণবিক দূষক অপসারণ করতে, যেমন আর্দ্রতা, অক্সিজেন বা জৈব যৌগ, যা প্রক্রিয়া গ্যাসে উপস্থিত থাকতে পারে।

* ব্যবহার: উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসের প্রয়োজন হলে ব্যবহৃত হয়, যেমন জমা বা এচিং প্রক্রিয়ার সময়।

* উপকরণ: প্রায়ই সক্রিয় কাঠকয়লা, জিওলাইট, বা বিশেষভাবে আণবিক অমেধ্য ফাঁদ করার জন্য ডিজাইন করা অন্যান্য শোষণকারী উপাদান ব্যবহার করে নির্মিত।

3. উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা (UHP) গ্যাসের মান অর্জন করতে, যা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ যেখানে সামান্যতম অপরিচ্ছন্নতা পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত করতে পারে৷

* ব্যবহার: এই ফিল্টারগুলি রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এবং প্লাজমা এচিংয়ের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেখানে অমেধ্য গুরুতর ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে।

* উপকরণ: উচ্চ চাপ এবং চরম অবস্থার অধীনে অখণ্ডতা বজায় রাখার জন্য বিশেষ ঝিল্লি সঙ্গে স্টেইনলেস স্টীল থেকে তৈরি.

4. বাল্ক গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: প্রবেশের বিন্দুতে বা উত্পাদন লাইনে বিতরণের আগে গ্যাসগুলি বিশুদ্ধ করা।

* ব্যবহার: পৃথক সরঞ্জাম বা চুল্লিতে সরবরাহ করার আগে গ্যাসগুলিকে প্রচুর পরিমাণে ফিল্টার করার জন্য গ্যাস বিতরণ ব্যবস্থায় আপস্ট্রিমে অবস্থান করা হয়েছে।

* উপকরণ: এই ফিল্টারগুলির প্রায়ই প্রচুর পরিমাণে গ্যাস পরিচালনা করার জন্য উচ্চ ক্ষমতা থাকে।

5. পয়েন্ট-অফ-ইউজ (POU) গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: প্রতিটি নির্দিষ্ট প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামে সরবরাহ করা গ্যাসগুলি যে কোনও দূষক থেকে মুক্ত তা নিশ্চিত করতে।

* ব্যবহার: এচিং বা ডিপোজিশন চেম্বারগুলির মতো প্রক্রিয়া সরঞ্জামগুলিতে গ্যাসগুলি প্রবেশের ঠিক আগে ইনস্টল করা হয়।

* উপকরণ: সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ উপকরণ থেকে তৈরি, যেমন sintered ধাতু বা PTFE।

6. ইনলাইন গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: ডিস্ট্রিবিউশন সিস্টেমের মাধ্যমে চলন্ত গ্যাসের জন্য ইনলাইন পরিস্রাবণ প্রদান করা।

* ব্যবহার: সিস্টেম জুড়ে চলমান পরিস্রাবণ প্রদান, মূল পয়েন্টে গ্যাস লাইনের মধ্যে ইনস্টল করা.

* উপকরণ: গ্যাসের সাথে রাসায়নিক সামঞ্জস্য নিশ্চিত করতে সিন্টারযুক্ত স্টেইনলেস স্টীল বা নিকেল।

7. সারফেস মাউন্ট গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: কণা এবং আণবিক দূষক অপসারণের জন্য গ্যাস প্যানেলের উপাদানগুলির উপর সরাসরি মাউন্ট করা।

* ব্যবহার: আঁটসাঁট জায়গায় সাধারণ, এই ফিল্টারগুলি গুরুত্বপূর্ণ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে কার্যকর পয়েন্ট-অফ-ব্যবহারের পরিস্রাবণ প্রদান করে।

* উপকরণ: অর্ধপরিবাহী উত্পাদন গ্যাসের সাথে স্থায়িত্ব এবং সামঞ্জস্যের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা স্টেইনলেস স্টীল।

8. সাব-মাইক্রোন ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: অত্যন্ত ছোট কণা ফিল্টার করতে, প্রায়ই সাব-মাইক্রোন আকারের মতো ছোট, যা এখনও সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে উল্লেখযোগ্য ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে।

* ব্যবহার: অতি-বিশুদ্ধ গ্যাস সরবরাহ বজায় রাখার জন্য সর্বোচ্চ স্তরের পরিস্রাবণ প্রয়োজন এমন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন ফটোলিথোগ্রাফি।

* উপকরণ: উচ্চ-ঘনত্বের sintered ধাতু বা সিরামিক উপকরণ যা কার্যকরভাবে এমনকি ক্ষুদ্রতম কণাকে আটকাতে পারে।

9. সক্রিয় কার্বন ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: জৈব দূষক এবং উদ্বায়ী গ্যাস অপসারণ.

* ব্যবহার: ওয়েফার দূষণ বা প্রতিক্রিয়া ব্যাঘাত প্রতিরোধ করার জন্য বায়বীয় অমেধ্য অপসারণ করা প্রয়োজন যেখানে অ্যাপ্লিকেশন ব্যবহার করা হয়.

* উপকরণ: জৈব অণু শোষণ করার জন্য ডিজাইন করা সক্রিয় কার্বন উপকরণ।

10.Sintered মেটাল গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: কাঠামোগত শক্তি এবং উচ্চ চাপ প্রতিরোধের প্রস্তাব করার সময় কার্যকরভাবে কণা এবং অমেধ্য অপসারণ.

* ব্যবহার: অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়ার একাধিক পর্যায়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় যেখানে শক্তিশালী ফিল্টারিং প্রয়োজন।

* উপকরণ: সাধারণত কঠোর পরিবেশ এবং রাসায়নিক সহ্য করার জন্য sintered স্টেইনলেস স্টীল বা অন্যান্য ধাতু সংকর দিয়ে তৈরি।

11.হাইড্রোফোবিক গ্যাস ফিল্টার

*উদ্দেশ্য: আর্দ্রতা বা জলীয় বাষ্পকে গ্যাসের প্রবাহে প্রবেশ করতে বাধা দিতে, যা কিছু নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ যেগুলি এমনকি আর্দ্রতার পরিমাণও ট্রেস করার জন্য সংবেদনশীল।

* ব্যবহার: প্রায়শই ওয়েফার ড্রাইং বা প্লাজমা এচিং এর মত প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়।

* উপকরণ: হাইড্রোফোবিক ঝিল্লি, যেমন PTFE, নিশ্চিত করতে যে গ্যাসগুলি আর্দ্রতা দূষণমুক্ত থাকে।

এই বিভিন্ন ধরণের গ্যাস ফিল্টারগুলি তাদের নির্দিষ্ট বৈশিষ্ট্য, উপাদানের সামঞ্জস্য এবং সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির অনন্য অবস্থার জন্য উপযুক্ততার উপর ভিত্তি করে সাবধানে বেছে নেওয়া হয়। সর্বোচ্চ স্তরের গ্যাস বিশুদ্ধতা বজায় রাখার জন্য, প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে এবং অর্ধপরিবাহী ডিভাইসে ত্রুটি রোধ করার জন্য ফিল্টারগুলির সঠিক সংমিশ্রণ অপরিহার্য।

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার সম্পর্কে কিছু FAQ

FAQ 1:

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার কি এবং কেন তারা গুরুত্বপূর্ণ?

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টারগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার গুরুত্বপূর্ণ উপাদান।

তারা প্রক্রিয়া গ্যাস থেকে অমেধ্য এবং দূষক অপসারণ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যেমনঅক্সিজেন,

নাইট্রোজেন, হাইড্রোজেন এবং বিভিন্ন রাসায়নিক গ্যাস.

এই অমেধ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের গুণমান, ফলন এবং নির্ভরযোগ্যতাকে উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাবিত করতে পারে।

গ্যাস স্ট্রিমগুলিকে কার্যকরভাবে ফিল্টার করার মাধ্যমে, সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টারগুলি সাহায্য করে:

1. উচ্চ বিশুদ্ধতা বজায় রাখুন:

নিশ্চিত করুন যে উত্পাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত গ্যাসগুলি দূষিত পদার্থ থেকে মুক্ত যা ডিভাইসের কার্যক্ষমতা হ্রাস করতে পারে।

2. সরঞ্জামের ক্ষতি প্রতিরোধ করুন:

সংবেদনশীল সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিকে কণা এবং রাসায়নিক দূষণ থেকে রক্ষা করুন, যা ব্যয়বহুল ডাউনটাইম এবং মেরামত হতে পারে।

3. পণ্যের ফলন উন্নত করুন:

গ্যাস-বাহিত অমেধ্য দ্বারা সৃষ্ট ত্রুটি এবং ব্যর্থতা হ্রাস করুন, যার ফলে উচ্চ উত্পাদন ফলন হয়।

4. ডিভাইসের নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করুন:

দূষণ-সম্পর্কিত সমস্যার কারণে সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের দীর্ঘমেয়াদী অবক্ষয় কমিয়ে আনুন।

FAQ 2:

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার সাধারণ ধরনের কি কি?

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে বিভিন্ন ধরণের গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করা হয়, প্রতিটি অপসারণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে

নির্দিষ্ট ধরনের দূষক।

সবচেয়ে সাধারণ ধরনের অন্তর্ভুক্ত:

1. পার্টিকুলেট ফিল্টার:

এই ফিল্টারগুলি গ্যাসের প্রবাহ থেকে কঠিন কণা যেমন ধুলো, তন্তু এবং ধাতব কণাগুলিকে সরিয়ে দেয়।

তারা সাধারণত sintered ধাতু, সিরামিক, বা ঝিল্লি ফিল্টার মত উপকরণ তৈরি করা হয়.

2. রাসায়নিক ফিল্টার:

এই ফিল্টারগুলি জলীয় বাষ্প, হাইড্রোকার্বন এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো রাসায়নিক অমেধ্য অপসারণ করে।

এগুলি প্রায়ই অ্যাক্টিভেটেড কার্বনের মতো উপাদান ব্যবহার করে শোষণ বা শোষণ নীতির উপর ভিত্তি করে

আণবিক sieves, বা রাসায়নিক sorbents.

3. সমন্বয় ফিল্টার:

এই ফিল্টারগুলি কণা এবং রাসায়নিক ফিল্টারগুলির ক্ষমতাগুলিকে একত্রিত করে উভয় ধরণের অপসারণ করে

দূষণকারী এগুলি প্রায়শই সমালোচনামূলক অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয় যেখানে উচ্চ বিশুদ্ধতা অপরিহার্য।

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্ন 3:

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার কিভাবে নির্বাচিত এবং ডিজাইন করা হয়?

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার নির্বাচন এবং নকশা বিভিন্ন কারণ জড়িত, সহ:

* গ্যাস বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তা:

নির্দিষ্ট গ্যাস প্রবাহের জন্য বিশুদ্ধতার পছন্দসই স্তর ফিল্টারের পরিস্রাবণ দক্ষতা এবং ক্ষমতা নির্ধারণ করে।

* প্রবাহ হার এবং চাপ:

ফিল্টার করা গ্যাসের পরিমাণ এবং অপারেটিং চাপ ফিল্টারের আকার, উপাদান এবং কনফিগারেশনকে প্রভাবিত করে।

* দূষিত প্রকার এবং ঘনত্ব:

গ্যাস প্রবাহে উপস্থিত নির্দিষ্ট ধরণের দূষক ফিল্টার মিডিয়া এবং এর ছিদ্রের আকারের পছন্দকে নির্দেশ করে।

*তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা:

অপারেটিং শর্তগুলি ফিল্টারের কর্মক্ষমতা এবং জীবনকালকে প্রভাবিত করতে পারে।

* খরচ এবং রক্ষণাবেক্ষণ:

ফিল্টারের প্রাথমিক খরচ এবং এর চলমান রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তা অবশ্যই বিবেচনা করা উচিত।

এই বিষয়গুলিকে সাবধানে বিবেচনা করে, প্রকৌশলীরা নির্দিষ্টভাবে পূরণ করে এমন গ্যাস ফিল্টার নির্বাচন এবং ডিজাইন করতে পারেন

একটি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার প্রয়োজন।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে কত ঘন ঘন গ্যাস ফিল্টার প্রতিস্থাপন করা উচিত?

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে গ্যাস ফিল্টারগুলির প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি বিভিন্ন কারণের উপর নির্ভর করে, যার মধ্যে রয়েছে

প্রক্রিয়া, দূষিত পদার্থের মাত্রা এবং নির্দিষ্ট ধরনের ফিল্টার ব্যবহার করা হচ্ছে। সাধারণত, গ্যাস ফিল্টার নিয়মিত প্রতিস্থাপিত হয়

দূষণের ঝুঁকি রোধ করার জন্য রক্ষণাবেক্ষণের সময়সূচী,প্রায়ই প্রতি 6 থেকে 12 মাস, ব্যবহারের শর্তের উপর নির্ভর করে

এবং ফিল্টার প্রস্তুতকারকের কাছ থেকে সুপারিশ।

যাইহোক, অপারেটিং পরিবেশের উপর ভিত্তি করে প্রতিস্থাপনের সময়সূচী ব্যাপকভাবে পরিবর্তিত হতে পারে। উদাহরণস্বরূপ:

*উচ্চ দূষিত প্রক্রিয়া:

ফিল্টারগুলি উচ্চ মাত্রার সংস্পর্শে আসলে আরো ঘন ঘন প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন হতে পারে

কণা বা আণবিক দূষণ।

*সমালোচনামূলক অ্যাপ্লিকেশন:

অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা দাবি করে এমন প্রক্রিয়াগুলিতে (যেমন, ফটোলিথোগ্রাফি), ফিল্টারগুলি প্রায়শই প্রতিস্থাপিত হয়

গ্যাসের গুণমান যাতে আপস করা না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য আগে থেকেই।

ফিল্টার জুড়ে ডিফারেনশিয়াল চাপ নিরীক্ষণ একটি ফিল্টার প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন নির্ধারণ করার জন্য একটি সাধারণ পদ্ধতি।

দূষিত পদার্থগুলি জমা হওয়ার সাথে সাথে ফিল্টার জুড়ে চাপ হ্রাস বৃদ্ধি পায়, যা কার্যকারিতা হ্রাসের ইঙ্গিত দেয়।

ফিল্টারগুলির কার্যকারিতা হ্রাস পাওয়ার আগে প্রতিস্থাপন করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, কারণ গ্যাসের বিশুদ্ধতার কোনও লঙ্ঘন উল্লেখযোগ্য ত্রুটির কারণ হতে পারে,

ফলন হ্রাস, এবং এমনকি সরঞ্জাম ক্ষতি হতে.

সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য গ্যাস ফিল্টারগুলি কী কী উপাদান দিয়ে তৈরি?

সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত গ্যাস ফিল্টারগুলি এমন উপকরণ থেকে তৈরি করা হয় যা সর্বোচ্চ বিশুদ্ধতার মান বজায় রাখতে পারে

এবং উত্পাদনে পাওয়া কঠোর পরিবেশ সহ্য করে। সাধারণ উপকরণ অন্তর্ভুক্ত:

*স্টেইনলেস স্টিল (316L): তার রাসায়নিক প্রতিরোধের কারণে সবচেয়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত উপাদান, যান্ত্রিক শক্তি, এবং

sintering প্রযুক্তি ব্যবহার করে সুনির্দিষ্ট ছিদ্র মাপ সঙ্গে গড়া করা ক্ষমতা. এটি উভয় প্রতিক্রিয়াশীল ফিল্টার করার জন্য উপযুক্ত

এবং নিষ্ক্রিয় গ্যাস।

*পিটিএফই (পলিটেট্রাফ্লুরোইথিলিন): PTFE একটি রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় উপাদান যা অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল বা ক্ষয়কারী ফিল্টার করার জন্য ব্যবহৃত হয়

গ্যাস এটির চমৎকার রাসায়নিক সামঞ্জস্য এবং হাইড্রোফোবিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে, এটি আর্দ্রতা-সংবেদনশীলতার জন্য আদর্শ করে তোলে

প্রসেস

*নিকেল এবং হ্যাস্টেলয়:

এই উপকরণগুলি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রয়োগের জন্য বা আক্রমণাত্মক রাসায়নিক জড়িত প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়

যেখানে স্টেইনলেস স্টীল ক্ষয় হতে পারে।

*সিরামিক:

সিরামিক ফিল্টারগুলি এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ব্যবহৃত হয় যেখানে চরম তাপমাত্রা প্রতিরোধের প্রয়োজন হয়, বা সাব-মাইক্রোনের জন্য

কণার পরিস্রাবণ।

উপাদানের পছন্দ নির্ভর করে গ্যাসের ধরন, প্রতিক্রিয়াশীল প্রজাতির উপস্থিতি, তাপমাত্রা এবং

অন্যান্য প্রক্রিয়া পরামিতি। উপাদানগুলি অবশ্যই অ-প্রতিক্রিয়াশীল হতে হবে যাতে তারা কোনও অমেধ্য প্রবর্তন করে না

বা প্রক্রিয়ার মধ্যে কণা, যার ফলে সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের জন্য প্রয়োজনীয় গ্যাসের বিশুদ্ধতার মাত্রা বজায় রাখে।

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং-এ পয়েন্ট-অফ-ইউজ (POU) ফিল্টারের ভূমিকা কী?

পয়েন্ট-অফ-ইউজ (পিওইউ) ফিল্টারগুলি অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে অপরিহার্য, কারণ তারা নিশ্চিত করে যে গ্যাসগুলি অবিলম্বে বিশুদ্ধ হয়েছে

প্রক্রিয়া সরঞ্জাম প্রবেশ. এই ফিল্টারগুলি গ্যাস প্রবাহে প্রবেশ করতে পারে এমন দূষকগুলির বিরুদ্ধে একটি চূড়ান্ত সুরক্ষা প্রদান করে

স্টোরেজ, পরিবহন, বা বিতরণের সময়, যার ফলে প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা এবং পণ্যের গুণমান বৃদ্ধি পায়।

POU ফিল্টারগুলির মূল সুবিধা:

*সমালোচনামূলক সরঞ্জামের (যেমন, এচিং বা ডিপোজিশন চেম্বার) কাছাকাছি অবস্থান করা যাতে দূষণ ওয়েফারে পৌঁছাতে না পারে।

*গ্যাস হ্যান্ডলিং সিস্টেম বা পরিবেশগত এক্সপোজার দ্বারা প্রবর্তিত হতে পারে এমন উভয় কণা এবং আণবিক অমেধ্য অপসারণ করুন।

*নিশ্চিত করুন যে সর্বোচ্চ সম্ভাব্য গ্যাসের গুণমান প্রক্রিয়া সরঞ্জামে সরবরাহ করা হয়েছে, সরঞ্জাম রক্ষা করা এবং উৎপাদিত ডিভাইসের গুণমান উন্নত করা।

*প্রক্রিয়ার পরিবর্তনশীলতা হ্রাস করুন, ফলন বৃদ্ধি করুন এবং ত্রুটির মাত্রা হ্রাস করুন।

*উন্নত সেমিকন্ডাক্টর পরিবেশে অপরিহার্য যেখানে এমনকি ছোটখাটো অমেধ্যগুলি উল্লেখযোগ্যভাবে উত্পাদনশীলতা এবং পণ্যের নির্ভরযোগ্যতাকে প্রভাবিত করতে পারে।

কিভাবে গ্যাস ফিল্টার সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসে ইকুইপমেন্ট ডাউনটাইম রোধ করে?

গ্যাস ফিল্টারগুলি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে সরঞ্জামের ডাউনটাইম প্রতিরোধ করে যে প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি ধারাবাহিকভাবে মুক্ত থাকে তা নিশ্চিত করে

দূষণকারী যা উত্পাদন সরঞ্জামের ক্ষতি করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে উচ্চ মাত্রার ব্যবহার জড়িত

ডিপোজিশন চেম্বার, প্লাজমা এচিং মেশিন এবং ফটোলিথোগ্রাফি সিস্টেম সহ সংবেদনশীল সরঞ্জাম।

যদি ধুলো, আর্দ্রতা বা প্রতিক্রিয়াশীল অমেধ্যগুলির মতো দূষিত পদার্থগুলি এই মেশিনগুলিতে প্রবেশ করে, তবে তারা বিভিন্ন সমস্যার সৃষ্টি করতে পারে,

আটকানো ভালভ এবং অগ্রভাগ থেকে শুরু করে ক্ষতিকারক ওয়েফার পৃষ্ঠ বা চুল্লির অভ্যন্তরীণ অংশ।

উচ্চ-মানের গ্যাস ফিল্টার ব্যবহার করে, নির্মাতারা এই দূষকগুলির প্রবর্তন রোধ করে, সম্ভাব্যতা হ্রাস করে

অপরিকল্পিত রক্ষণাবেক্ষণ এবং সরঞ্জাম ভাঙ্গন। এটি স্থিতিশীল উত্পাদন সময়সূচী বজায় রাখতে সাহায্য করে, কমিয়ে দেয়

ব্যয়বহুল ডাউনটাইম, এবং মেরামত বা প্রতিস্থাপনের সাথে সম্পর্কিত উল্লেখযোগ্য ব্যয়গুলি এড়ানো।

এছাড়াও, ভালভাবে রক্ষণাবেক্ষণ করা ফিল্টারগুলি মূল উপাদানগুলির আয়ু বাড়াতে সাহায্য করে, যেমন ফ্লো কন্ট্রোলার, ভালভ এবং চুল্লি,

যার ফলে উৎপাদন প্রক্রিয়ার সামগ্রিক দক্ষতা এবং লাভজনকতা বৃদ্ধি পায়।

তাই সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার সম্পর্কে কিছু বিশদ পরীক্ষা করার পরে, যদি আপনার আরও কিছু প্রশ্ন থাকে।

উচ্চ-মানের গ্যাস পরিস্রাবণ সমাধানের সাথে আপনার সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াটি অপ্টিমাইজ করতে প্রস্তুত?

আপনার প্রয়োজন মেটাতে বিশেষজ্ঞ নির্দেশিকা এবং কাস্টমাইজড সমাধানের জন্য আজই HENGKO-এর সাথে যোগাযোগ করুন।

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ফিল্টার সম্পর্কে কিছু বিশদ তথ্য চেক করার পরে, যদি আপনি আরও প্রশ্ন পান?

উচ্চ-মানের গ্যাস পরিস্রাবণ সমাধানের সাথে আপনার সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াটি অপ্টিমাইজ করতে প্রস্তুত?

আপনার প্রয়োজন মেটাতে বিশেষজ্ঞ নির্দেশিকা এবং কাস্টমাইজড সমাধানের জন্য আজই HENGKO-এর সাথে যোগাযোগ করুন।

আমাদের ইমেইল করুনka@hengko.comআরও তথ্যের জন্য

আপনার উত্পাদন দক্ষতা এবং পণ্যের গুণমান উন্নত করতে আপনাকে সাহায্য করার জন্য আমাদের দল এখানে রয়েছে।