অতি-বিশুদ্ধ সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস সিস্টেমের জন্য উন্নত আইজিএস সারফেস মাউন্ট সি-সিল ফিল্টার

বর্ণনা

হেংকো সারফেস মাউন্ট ফিল্টারগুলো সেমিকন্ডাক্টর OEM টুলসে ব্যবহৃত ইন্টিগ্রেটেড গ্যাস সিস্টেমের কঠিন চাহিদা মেটানোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। ০.০০৩ µm-এ শিল্প-সেরা পরিস্রাবণ ক্ষমতা প্রদানকারী এই ফিল্টারগুলো ১২০ slpm-এ ≥৯৯.৯৯৯৯৯৯৯% (9-LRV) কণা ধারণ দক্ষতার মাধ্যমে অসাধারণ পারফরম্যান্স এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।

ফিল্টার এলিমেন্ট এবং হাউজিং মজবুত 316L স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে পাউডার সিন্টারিং পদ্ধতিতে নির্মিত হওয়ায়, এই ফিল্টারগুলো SEMI F86-0304 স্পেসিফিকেশন মেনে চলে। এতে C-সিল কনফিগারেশনসহ 1.125” গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন সিস্টেমের জন্য বিশেষভাবে তৈরি দুই-পোর্ট কম্পোনেন্ট রয়েছে। এগুলো 100°C তাপমাত্রায় সর্বোচ্চ 3.4 MPa ইনলেট প্রেশার এবং 100°C তাপমাত্রায় সর্বোচ্চ 0.69 MPa অপারেটিং প্রেশার ডিফারেনশিয়াল সমর্থন করে।

এই বিশেষায়িত ফিল্টারগুলো, যা সি-টাইপ এবং ডব্লিউ-টাইপ উভয় প্রকার সিল স্পেসিফিকেশনের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, কণা নির্গমনের মাধ্যমে ডাউনস্ট্রিম পরিচ্ছন্নতা অর্জন করে।

Ra পৃষ্ঠতল ফিনিশ সহবহির্ভাগে < ১.৬ µm এবং Raঅভ্যন্তরীণ দিকে ০.১৩ µm-এরও কম পুরুত্বের এই ফিল্টারগুলি ৪৬০°C পর্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। সহজ ইন্টিগ্রেশন এবং মডিউলার ডিজাইন আপগ্রেডের জন্য তৈরি হওয়ায়, এই ফিল্টারগুলি ইনস্টলেশন ও রক্ষণাবেক্ষণকে সরল করে এবং সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস সরবরাহ ও নিয়ন্ত্রণ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে সিস্টেমের কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজ করতে সহায়তা করে।

পণ্যের বৈশিষ্ট্য

▶ সামগ্রিকভাবে ৩১৬এল স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে নির্মিত
▶ ক্ষুদ্রাকৃতির নকশা, সুসংহত কাঠামো, স্থান সাশ্রয়ী
▶ চমৎকার গ্যাস প্রতিস্থাপন এবং বিশোষণ বৈশিষ্ট্য
▶ উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ চাপ এবং ক্ষয় প্রতিরোধী
▶ ইলেকট্রো-পলিশ করা 316L স্টেইনলেস স্টিলের হাউজিং
▶ সহজ এবং কার্যকর স্থাপন ও রক্ষণাবেক্ষণ
▶ যান্ত্রিক সিলিং, যা মাধ্যমের সাথে কাঠামোগতভাবে ঝালাই করা নয়

ডেটাশিট

আকার

এখানে আপনি যে পার্ট নম্বরটি অর্ডার করতে পারেন এবং সাইজের বিবরণ দেওয়া হলো:

সাধারণ প্রয়োগ

W-seal এবং C-seal, ১.১২৫” এবং ১.৫” সারফেস মাউন্ট মডিউলার গ্যাস ডেলিভারি সিস্টেমের সাথে ব্যবহারের জন্য।